8月19日,总投资30亿元的光罩材料产业链项目在浙江嘉兴科技城(南湖高新区)智立方举行了签约仪式。项目实施主体为嘉兴立恩半导体科技有限公司,项目负责人是张汝京博士。
据悉,该项目首期投资11亿元,落户于南湖高新区集成电路产业园,主要从事光罩材料产业链相关产品的研发制造,产品包括高平整度石英基板、镀膜基板(含二元及相位移的)、保护膜等原材料。项目计划于今年9月启动,2023年4月第一条生产线试生产,2024年1月正式投产,2026年1月达产。
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