山东莱西经济开发区再添半导体项目
近日,山东莱西经济开发区管委会与上海衍梓智能科技有限公司薄膜沉积设备项目签约仪式在莱西市行政办公中心举行。
莱西经济开发区消息,近日,山东莱西经济开发区管委会与上海衍梓智能科技有限公司薄膜沉积设备项目签约仪式在莱西市行政办公中心举行。
据介绍,上海衍梓智能科技有限公司专注于半导体核心工艺——化学薄膜沉积设备制造生产,其核心产品VPE反应炉已实现自主可控,解决了国内半导体薄膜沉积行业“卡脖子”问题。莱西项目总投资5亿元,投产后将成为该行业全国第三家、山东省首家接入芯片头部企业生产线并实现量产的半导体薄膜沉积装备公司。
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