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槽式湿法制程设备
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全自动EKC机台

全自动EKC机台指的是一种特定的清洗设备,其中“EKC”是这种设备的品牌或型号标识。湿法EKC去胶工艺是一种常见的表面处理工艺,主要用于去除电镀、喷涂、涂覆等工艺中产生的胶层或杂质,以提高表面质量和增强涂层附着力。在电子工业中,清洗设备对于保持生产环境的清洁度和产品质量至关重要。全自动EKC机台能够根据客户需求定制,包括但不限于RCA清洗机、石英管清洗机、BOE腐蚀机、CDS系统、供酸系统、芯片清洗机、去蜡机、湿法清洗台、IPA干燥机、Slurry供液系统、抛光液供液系统、研磨液供液系统等。这些设备广泛应用于半导体生产过程中,以确保产品的质量和性能达到标准。


工作原理

EKC(化学机械抛光)是一种常用的半导体制程中用于去除多余的材料的工艺。Polymer(聚合物)在半导体制程中常常用作光刻胶或者其他材料的研磨。在EKC去除Polymer的过程中,通常会涉及到以下几个步骤和原理:

1. 选择合适的化学溶液,EKC去除Polymer的过程中,需要选择合适的化学溶液,通常是一种含有氧化剂和酸性物质的溶液。这些化学物质能够与Polymer发生化学反应,使其溶解或者变得容易去除。

2. 化学反应原理,EKC去除Polymer的过程中,溶液中的氧化剂和酸性物质会与Polymer发生化学反应。例如,氧化剂可以氧化Polymer的分子链,使其变得容易分解;酸性物质可以使Polymer发生酸碱中和反应,降低其分子量,从而溶解或者变得容易去除。

3. 机械作用原理,除了化学作用外,EKC去除Polymer的过程中也会涉及到机械作用。通过在化学溶液进行机械抛动,可以加速化学溶液与Polymer的接触,促进化学反应的进行,从而更快地去除Polymer。

4. 控制参数,在EKC去除Polymer的过程中,需要控制好溶液的浓度、温度、PH值等参数,以确保化学反应能够有效进行,并且避免对其他材料造成损害。

工作流程

湿法EKC去胶工艺通常包括以下几个步骤:

1. 预处理,首先对待处理的工件进行清洗和去油处理,以确保表面干净无杂质。

2. 酸洗,将工件浸泡在酸性溶液中,通过酸性溶液的化学作用去除表面的氧化物和杂质。

3. EKC去胶,EKC是指电解化学去胶,是一种利用电解原理和化学溶剂共同作用的去胶方法。在电解液中加入适量的化学溶剂,通过电解去除表面的胶层或杂质。这一步需要控制电解条件,如电流密度、温度、PH值等,以确保去胶效果和避免对工件表面造成损伤。

4. 中和清洗,将处理后的工件进行中和清洗,以中和残留在表面的化学溶剂和电解液,避免对后续工艺造成影响。

5. 烘干,最后对工件进行烘干处理,确保表面干燥无水渍。

湿法EKC去胶工艺在实际应用中需要根据具体工件材质、胶层性质、工艺要求等因素进行调整和优化,以达到最佳的去胶效果。同时,对于工艺废液的处理和环保要求也需要引起重视,合理处理废液,减少对环境的影响。在实际操作中,操作人员需要严格按照工艺要求进行操作,确保工艺稳定性和产品质量稳定性。

安装及售后

i. 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

ii. 为用户工厂操作工提供培训,培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

iii. 无偿提供为期一年的技术支持与服务,一年后继续提供终身技术服务。在质保期内,提供7*24小时内电话支持服务,24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

iv. 可提供随机备件、易损品及随机工具。


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