适用范围

‌适用于半导体材料、‌集成电路、‌MEMS、‌LED芯片、‌功率器件等领域。

清洗能力

6inch； 1cassette/Batch  25Pcs/cassette

产品优势

1) 操作便捷性：‌半自动RCA清洗机提供了手动和半自动的操作方式，‌这种设计使得设备的操作更加简单易行。‌用户可以通过简单的操作步骤完成清洗任务，‌无需复杂的设置和调整，‌从而节省了操作时间，‌提高了工作效率。‌

2) 成本效益：‌相比于全自动设备，‌半自动RCA清洗机的成本更低。‌它不需要高度自动化的控制系统，‌因此在购买和维护方面的成本相对较低。‌此外，‌半自动设备通常更适合小规模生产或特定应用场景，‌能够在保证清洗效果的同时，‌降低运营成本。‌

3) 适用性：‌半自动RCA清洗机适用于多种应用领域，‌包括半导体材料、‌集成电路、‌MEMS、‌LED芯片、‌功率器件等。‌其适用的清洗工艺包括SC-1、‌SC-2、‌SPM、‌BOE、‌超声(兆声)清洗、‌QDR等，‌能够满足不同材料的清洗需求。‌这种设备的广泛应用证明了其强大的适用性和灵活性.

      产品特点

1) 机台电气部分具备正压N2保护，防止腐蚀；

2) 机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报警装置）；

3) 机台总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报警装置）；

4) 工艺记录储存：完成生产工艺中参数及工艺步骤等详细记录存储，便于采购方对生产产品品质管控；程序运行记录可定时存储，存储数据类型参考如下：程序号、操作者、槽体温度、设定时间、运行时间、报警信息等（待定）。PLC或触摸屏具有USB接口，可读出程序运行记录；具备可写功能；

5) 定制机械臂配有抛动功能，位置及频率可调；

6) 整机采用PLC控制，触摸屏显示，清洗槽定温控制，过温保护；气体过低警报：CDA气源有sensor压力过低警报，多段式N2 Level sensor也有警报；Exhaust设有压差表及I0警报，当抽气量不足时便Alarm;Alarm值可调整设定；DIW过低警报；

7) 机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全；

8) 工艺槽工作区域与机台控制外配有安全防护装置，防止搬运机械手对操作人员的意外损伤；

9) 溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；

10) 工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；

11) 整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等，需润滑的零件必须密封处理；

12) 整机采用PLC控制，显示屏显示，清洗槽定温控制，过温保护及超（兆）声低液位保护；

13) 整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；

14) 整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电气元件正常安全使用；

15) 机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮），并按照标准设置接地保护断路器；

16) 整机前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，最低处设有漏液报警，前后区域均设水枪，确保漏液及时冲洗；

17) 清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；

18) 设计合理化的排风管路，使酸碱液挥发气体的污染最小化；

19) 设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；

20) 工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；

21) 设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；

22) 槽体具有换液提示功能，换液工艺参数可设定，可按照批次（by lot）也可按照时间（by time）进行换液提示，换液方式手动；

23) 设备各槽体包含robot需要能单独切至手动模式，设备报警记录禁止删除，报警记录有发生事件和报警消除时间信息包含，月日时分秒；

24) Exhaust系统:槽体后方（酸碱排气分开配置）

安装及售后

i. 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

ii. 为用户工厂操作工提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

iii. 无偿提供为期一年的技术支持与服务，一年后继续提供终身技术服务。在质保期内，提供7*24小时内电话支持服务，24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

iv. 可提供随机备件、易损品及随机工具。