1. 工作原理

全自动碳化硅外延最终清洗机是一种高效设备，‌用于清洁碳化硅材料，‌其工作原理包括物理清洗和化学清洗。‌物理清洗主要通过抛光头的高频振动和流体动力学的冲击作用，‌去除碳化硅表面的杂质。‌化学清洗则是利用特定的清洗剂与碳化硅表面杂质发生化学反应，‌将其溶解于清洗液中。‌这种清洗方式不仅提高了碳化硅的清洁度，‌还改善了后续工序的生产环境，‌同时增强了碳化硅与结合剂的结合强度，‌从而提高了产品的各项性能指标。

2. 工作流程

生产主线为： Load，药液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X个制程工位, 设置为6” *1 cassette晶舟上货，将晶舟置于Robot上货区位置，按下『启动键』，Robot将自动以夹持方式移至制程槽进行预设之制程，完成设备本身设定之流程，达成一贯性自动控制的功能。本设备电气控制部分关键件均采用进口优质件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位， ‌按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。

3. 清洗能力

6inch     1cassette   / Batch    25 Pcs/cassette；

4. 产品优势

1) 高效清洗：‌通过高稳定气体流场和压力场控制，‌实现了对碳化硅晶片的快速且高效的清洗。‌

2) 高质量生长：‌结合感应加热和反应腔整机系统设计，‌以及自主开发的原位监控技术和在线清洗技术，‌保证了外延生长的高质量。‌

3) 可靠性与稳定性：‌通过优化涂层材料和工艺，‌提高了设备的运行可靠性和稳定性。‌

4) 适用范围广：‌能够处理2-8英寸的碳化硅晶片，‌满足不同尺寸的需求。‌

5) 安全与操作简便：‌设备结构紧凑且安全，‌采用工控机控制，自动化程度高，‌操作简便，‌同时可以根据用户需求提供个性化解决方案。

5. 产品特点

01）溢流工艺的应用，保证了药液槽之间的隔离效果和清洗的高洁净度；
02）优化配管设置，节约DIW消耗量；
03）工艺柔性化设计，工艺更改方便迅速；多工艺数据库，可供用户使用和存储；
04）整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等，需润滑的零件必须密封处理；
05）整机采用PLC控制，IPC显示，清洗槽定温控制，过温保护及超(兆)声低液位保护；
06）整机采用全封闭设计。设备运行峰值噪音小且操作、维护和维修方便；
07）整机耐酸碱溶液及挥发气体的腐蚀，电器元件正常安全使用；
08）机台设有紧急停止回路（EMO急停按钮，设备两端各一个），并按照标准设置接地保护断路器；
09）整机前后区隔离，底板倾斜设计，便于排液，处设有漏液报警，前后区域均设水枪，确保漏液及时冲洗；
10）清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计，防止溶剂混用；
11）设计合理化的排风管路，使有机液挥发气体的污染最小化；
12）设备内部输水、输气管道管线布置于主体设备内部；
13）废水按照高氟、低氟、酸碱、酸碱含醇四类排放；
14）设备内废气总管路可用维护区水枪清洗，清洗废液流入有机、酸碱废液总管；
15）工艺溢流槽体都需具有外槽独立溢流方式，需采用四面溢流；如果无法实现，至少需要三面溢流；
16)  设备后方、左右两侧需留有方便维护、维修的窗口；
17）机台排风口处安装排风压力监测装置（带信号报警装置）；
18）机台总进口处（N2或CDA）安装有压力监测装置（带信号报警装置）；
19）工艺槽槽体倾斜式，便于排空；
20）机台电器部分具备正压N2保护，防止腐蚀；
21）溢流：IDLE TIME＞SET TIME，溢流停止，达到节能目的；
22）废液排放，每个工艺槽采用独立排放管道，对应QDR也采用独立排放口；
23）排风，工艺腔内每个工艺槽对应位置都有可调节的栅格排风结构；
24）换液提醒功能，所有制程能根据配液时间或运行批次数量通知换酸；
25）工艺结束可以设置预先报警功能，预报警声音和实际报警声音要有所区分；
26）工艺说明: 自动传动，自动方式实现槽体间传送工件，手臂按照菜单选择流程作业，生产部人员选取菜单进行作业，这个过程全自动进行；
27）全程自动化控制，工艺过程中没有人工干预，保证产品性能的一致性；
28）搬运机械手的横向移动和纵向提升均采用日本伺服马达，闭环控制，定位精度≤1mm，可靠性高；采用双导轨结构及线性模块传动，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳；
29）搬运机械手臂单独急停、暂停开关、系统急停开关和机械手马达电机自动过载保护等多重保护，确保操作者的安全；
30）搬运机械手臂设有防夹防撞预警装置（光电传感器、机械传感器、机械装置等），以保护操作人员安全；
31）上下料方向：左进右出，花篮水平放置；
32）颗粒指标，尺寸大于XX μm的颗粒，密度不超过XX个/cm2；
33）目前金属离子残留测试，包括XX种元素：------,每一种金属元素残留指标均要求

6. 安装及售后

1) 委派具有丰富的调试经验、业务精湛的技术人员在用户工厂现场安装、调试设备。

2) 为用户工厂操作工提供培训，培训包括正常操作、维修保养、操作问题的分析和紧急处理程序。

3) 无偿提供为期一年的技术支持与服务，一年后继续提供终身技术服务。在质保期内，提供7*24小时内电话支持服务，24小时到现场反应时间。保修期外保证在接到客户请求维修服务后24小时内到达现场。

4) 可提供随机备件、易损品及随机工具。