半自动单片兆声清洗机主要用于6、8英寸晶圆或掩模版的清洗,用于去除晶圆或掩模版上的油脂、光刻胶、抛光液等物理残留。
设备主要由刷洗工艺腔体、升降扫描摆臂模块、刷洗摆臂模块、供排液系统、排风系统、中央控制系统等组成。刷洗工艺腔体具备Brush刷洗、高压二流体清洗、兆声清洗、药液清洗、氮气吹干、离心甩干等功能。
产品优势:
1. 兼容多种规格尺寸
2. 配置可根据客户需求定制
3. 低药液消耗
4. 支持多种药液分层排放
5. 高效的颗粒去除率,particle≤30ea @0.2μm